Equipment

設備機台

晶圓廠五大類設備，與量測檢測如何守住良率。

全部 CMP (2) 沉積 (2) 良率 (2) 蝕刻 (2) 製程設備 (2) ASML (1) ATE (1) EUV (1) FOUP (1) KLA (1) OHT (1) 封測 (1) 平坦化 (1) 微影機台 (1) 摻雜 (1) 檢測 (1) 測試 (1) 研磨 (1) 自動化 (1) 設備 (1) 量測 (1) 離子佈植 (1)

蝕刻與沉積設備

晶片的立體結構，靠一層層「加上去」與「刻下去」雕出來。

研究所 · 約 17 分鐘 · 蝕刻、沉積、製程設備

閱讀 →

離子佈植機

用離子束像打靶一樣，把雜質精準射進矽晶體裡。

研究所 · 約 18 分鐘 · 離子佈植、摻雜、製程設備

閱讀 →