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晶圓廠五大類設備，與量測檢測如何守住良率。

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CMP 研磨設備

堆了幾十層之後凹凸不平，得靠它磨出鏡面般的平整。

研究所 · 約 17 分鐘 · CMP、研磨、平坦化

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