Process Technology

製程技術

製程節點、前段與後段製程，晶圓上究竟發生了什麼。

全部 BSPDN (1) CMP (1) FinFET (1) GAA (1) PN接面 (1) 互連 (1) 前段製程 (1) 平坦化 (1) 後段製程 (1) 微污染 (1) 微縮 (1) 摩爾定律 (1) 摻雜 (1) 柴可拉斯基法 (1) 潔淨度 (1) 無塵室 (1) 矽晶圓 (1) 研磨液 (1) 缺陷 (1) 背面供電 (1) 良率 (1) 薄膜 (1) 蝕刻 (1) 製程節點 (1) 量測檢測 (1) 長晶 (1) 離子佈植 (1) 電晶體 (1)

電晶體結構演進：平面、FinFET 到 GAA

為了關得更乾淨，電晶體把通道立了起來、又包了起來。

研究所 · 約 20 分鐘 · 電晶體、FinFET、GAA

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