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把電路「印」到晶圓上的核心技術,以及 EUV 的門檻。
光、光罩與光阻的三方合作,是晶片圖案的源頭。
在鏡頭和晶圓之間加一層水,竟然就能刻出更細的線。
一次印不夠細,那就印好幾次——化整為零的微影智慧。
不靠光學投影,而是像蓋印章一樣把電路圖案壓進晶圓。